欧界报道:
高精度芯片制造的关键设备——光刻机,是半导体行业的重中之重,而光刻胶作为光刻机制造芯片时的关键材料,其地位更是举足轻重的。光刻胶能否国产化生产,关系到中国近万亿半导体市场的正常运转。
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。光刻胶的技术复杂,品种较多。根据其化学反应机理和显影原理,可分负性胶和正性胶两类。光照后形成不可溶物质的是负性胶;反之,对某些溶剂是不可溶的,经光照后变成可溶物质的即为正性胶。利用这种性能,将光刻胶作涂层,就能在硅片表面刻蚀所需的电路图形。